Zoll-Auktion

Leistungsbeschreibung:
Mask-Aligner EVG 6/2 zur photolithographischen Belichtung von runden Substraten (1", 2", 3", 4", 5", 6") mit max. 10mm Dicke sowie Maskengrößen bis 6". Baujahr ca. 1992.
Obwohl max. 6"-Substrathalter wurden insbesondere 2010 sehr viele 8 Zoll (also 200mm) Si-Wafer erfolgreich beidseitig belichtet.

Vorderseiten- als auch Rückseitenbelichtung (z.B. zur Herstellerung von Membranen) möglich.
Softkontakt; Hardkontakt; Vakuumkontakt; Proximity-Belichtung einstellbar. Intervallbelichtung für dicke, nicht chemisch-verstärkte Resiste möglich
Justiergenauigkeit laut Spezifikation 1,25µm, realtistisch sind ca. 5µm.
Belichtungswellenlänge: 365nm
sub-µm Auflösung je nach Resistschichtdicke ist erreichbar
 

Zustandsbeschreibung:
Letzer Service durch Hersteller EVG war geschätzt im Jahr 2012 oder 2015.

Maskenhalter und Substrathalter mit Lineal sind komplett, Austauschobjektive sind vorhanden.

Letzter Test am 05.08.2026 nach ca. 2 Jahren ohne Benutzung:
Einschalten der Elektrik: ok
Zünden der Quecksilberdampflampe: ok -> Lichtintegrator meldet "Lampe zu alt, sollte gewechselt werden"; Ersatztlampen können wir mitliefern.
Starten der Elektronik: ok
Ausgabe auf linken Röhrenmonitor: ok
Tastaturfeld: ok (sieht übrigens aus wie am ersten Tag)
WICHTIG: Vor dem Starten/Initailisieren muss die Hilfsposition angefahren werden. Sonst verklemmt sich die Tischmechanik und ein Ein-Mal-Passwort muss bei EVG "eingekauft" werden (~1500€)
Anfahren der Hilfsposition: ok
Initialsierung: ok
Laden des Maskenhalters und Druck-Sensor-Kalibrierung: ok
Laden der Maske mit Umgehung des Vakuum-Sensors und etwas Nachhilfe bei der Tisch-Mechanik: ok
Laden des Substrathalters: ok
Laden des Substrates mit Umgehung des Vakuum-Sensors und etwas Nachhilfe bei der Tisch-Mechanik: ok
Ausgabe der Mikroskopobjektiv-Bilder auf den Röhrenmonitor (rechts) scheint fehlerhaft
Belichtung: NICHT ok -> Druckdose ist kaputt gegangen; scheint ein FESTO-Normteil zu sein. Reparatur erscheint möglich

Umfangreiche Dokumentation vorhanden. U.a. Beschreibungen sämtlicher elektronischer Baugruppen (Stand: 1985) sowie eine original EVG_VHS-Videokassette. 

Gerät steht im Reinraum122 des befreundeten Nachbar-Instituts IPHT (Beutenberg-Campus, Albert-Einstein-Str. 9, 07745 Jena); Verladung über Materialschleuse_Nord/Hubbühne